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  • 2019-07

    硅片清洗机维护与保养

    开机前检查各工艺槽工艺温度是否正常。根据工艺要求,通过机器显示屏上显示的温度进行检查,显示温差范围在工艺要求的正负3 摄氏度之间。

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