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半自动湿法腐蚀设备

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  晶圆片花篮在工艺槽之间的移动,通过人工取放;通过彩色触摸屏实现人机沟通交互和完成。可实现工艺参数的设定、修改和储存、清洗过程的实时监控和时显示,工作完成提示、故障报警等。各工艺槽具备一键操作按钮。

  半自动湿法腐蚀设备优点:工艺选择灵活,设备操作简便,适应性强,使用范围广。设备成本投入较少、运营成本低。

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