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全自动硅片酸洗机设备

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  晶圆片在工艺槽之间的移动,通过机械手完成。可实现干进干出,自动上料、自动下料,自动配液、自动补液。全自动多用于工作环境、工艺要求高的工序,以及大尺寸晶圆清洗。

  全自动硅片酸洗机设备优点:减少人力,及人为造成的二次污染,提高产品一致性,提高产品质量和稳定性,更适合大批量生产。

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